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固勤材料 |
主要特点
碳化硅舟(光伏级)结构稳定,材料热稳定性能好,高温使用不变形,(半导体级)材料纯度高,具有高纯度基体和碳化硅薄膜,避免了杂质引入,减少了工艺制程中对设备环境的污染,有效提高产品品质。
详细说明
光伏行业普遍使用的石英舟托及舟,因其生产工艺和石英材料特性,使用寿命为3-6个月,碳化硅舟托及舟,代替石英,使用寿命可达5年以上,可显著降低使用成本及维护维修停线造成的产能损失。
应用范围
适用于光伏设备,半导体设备中晶圆的关键承载部件。
碳化硅舟应用半导体立式炉,主要应用于高温氧化环节和高温退火环节。
陕西固勤材料技术有限公司 | |
张巍 |
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18792547014 | |
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无 | |
029 | |
西安市鄠邑区西安沣京工业园沣二东路路北 | |
碳化硅舟托,碳化硅悬臂桨,碳化硅舟,碳化硅炉管 | |
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